ДСТУ Б А.1.1-9-94. Метод електронної мікроскопії матеріалів

Метод электронной микорскопии материалов.

Термины и определения.

Method of electronic microscopy materials.

Terms and definitions.

Скачать ДСТУ Б А.1.1-9-94. Метод електронної мікроскопії матеріалів

1. Галузь використання

1.1 Цей стандарт установлює терміни та визначення понять, ме-

тодівелектронноїмікроскопії.

1.2 Терміни, регламентовані в цьому стандарті, придатні

для використання в усіх видах нормативної документації, у довідко-

вій та навчально-методичній літературі, а також для робіт з питань

стандартизації або при використанні результатів цих робіт, включа-

ючи програмні засоби для комп'ютерних систем.

1.3 Вимоги стандарту чинні для використання в роботі підпри-

ємств, установ, організацій, що діють на території України,

технічних комітетів з стандартизації, науково-технічних та інженер-

них товариств, міністерств (відомств).

2. Нормативні посилання

У цьому стандарті є посилання на такі документи: 

ДСТУ 1.2-93  

ДСТУ 1.5-93

КНД 50-011-93

3. Основні положення

3.1 Для кожного поняття встановлено один стандартизований

термін.

3.2 Подані визначення можна в разі необхідності розвивати

шляхом введення до них похідних ознак, які доповнюють значення

термінів, що використовуються. Доповнення не можуть порушувати

обсяги і зміст понять, визначених у стандарті.

3.3 У стандарті, як довідкові, подані німецьки (de), англі-

йські (en), французькі (fr) і російські (ru) відповідники стандар-

тизованих термінів, а також визначення російською мовою.

3.4 У стандарті наведено абетковий покажчик термінів україн-

ською мовою та абеткові покажчики іншомовних відповідників стан-

дартизованих термінів кожною мовою окремо.

4. Загальні поняття

4.1 Оchoвнi види електронних мікроскопів

4.1.1 електронний мікроскоп          de Elektronenmikroskop

                                     en electron microscope

                                     fr microscope electro-

                                        nique

                                     ru электронныймикроскоп

     Микроскоп, який формує             Микроскоп, формирующий

     зображення об'єкта елек-           изображение объекта элек-

     тронними пучками i за-             тронными пучками и сред-

     собами електронної оп-             ствами электронной  опти-

     тики                               ки

4.1.2 просвічувальний елек-          de Durchstrahlungselektronen

      тронний мікроскоп                 mikroskop

                                     en transmission electron

                                        microscope

                                     fr microscope [e2]lectro- *

                                        nique par transmission

                                     ru просвечивающий электронный

                                        микроскоп

     Електронний мікроскоп,             Электронный микроскоп,

     який формує зображен-              формирующий изображение

     ня об'єкта пучками, що             обЬекта электронными пуч-

     проходять через цей об'-           ками, проходящими сквозь

     єкт                                этот обьект

4.1.3 відбивний електронний          de Retlexionselektronen

     мікроскоп                          mikroskop

                                     еn reflection electron micros-

                                        cope

                                     fr microscope [e2]lectro- *

                                        nique рar rеflexion

                                     ru отражательный электронный

                                        микроскоп

     Електронний мікроскоп,             Электронный микроскоп,

     який формує зображен-              формирующий изображение

     ня об'єкта електронни-             объекта электронными пуч-

     ми пучками, відбитими              ками, отраженными  обьек-

     об'єктом                           том

4.1.4 eмісійний  електронний         de Emissionselektronen

      мікроскоп                         mikroskop

                                     en emission microscope

                                     fr microscope [a4] [e2]mis- *

                                        sion

                                     ru эмиссионный электронный

                                        микроскоп

      Електронний мікроскоп,            Электронный микроскоп,

      який формує зображення            формирующий изображение

      за допомогою  вторинного          оъекта с помощью вторич-

      випромінювання, що утвори-        ного излучения, образован-

      лось при взаємодії пучка          ного при взаимодействии

      електронів і об'єкта              пучка электронов и объекта

4.1.5 дзеркальний електрон-          de Elektronenspiegelmikroskop

      ний мікроскоп                  en mirror electron microscope

                                     fr microscope [e2]ltetro-    *

                                        nique [а4] mirroir        *

                                     ru зеркальный электронный

                                        микроскоп

      Електронный міксроскоп,           Электpонный микроскоп,

      який формує зображен-             формирующий изображение

      ня  об'єкта за допомогою          обьекта электронным зер-

      електронного дзеркала             калом

4.1.6 автоелектронний                de Fel delektronenmikroskop

      мікроскоп                      en field-emission microscope

                                     fr auto-[e2]lectron projec-  *

                                        teur

                                     ru автоэлектронный микроскоп

      Електронний мікроскоп,            Электронный микроскоп,

      який формує зображен-             формирующий изображение

      ня електронним пучком,            электронным пучком, из-

      що випромінює об'єкт,             лучаемым объектом, под

      під  впливом потенціалу           воздействием потенциала

     електричного поля                 поля

4.1.7 електронограф                  de Elektronenbeugungsapparat

                                     еn electron diffractometer

                                     fr diffractom[e2]tre [e2]le- *

                                        ctronique

                                     ru электронограф

      Електронний  мікроскоп            Электронный микроскоп

      або прилад y просвічу-            или устройство в просвечи-

      вальному електронному             вающем электронном мик-

      мікроскопі для вивчен-            роскопе для изучения струк-

      ня структури криста-              туры кристаллических фаз

      лічних фаз методом диф-           дифракции электронов

      ракції електронів

4.1.8 тіньовий електронний           de Schattenmikroskop

      мікроскоп                      еn shadow electron micros-

                                        cope

                                     fr microscope [e2]lectroni-  *

                                        que d'ombre

                                     ru теневой электронный мик-

                                        роскоп

      Електронний мікроскоп,            Электронный микроскоп,

      який формує зображен-             формирующий изображение

      ня об'єкта, що обумов-            обьекта, обусловленное по-

      лене вбиранням i роз-             глощением и расссеиванием

      сiюванням електронів в            электронов в обЬекте при

      об'єкті при зондуванні            зондировании его электрон-

      його електронними пуч-            ными пучками

      ками

4.1.9 електронний мікроскоп          dе H[o1]сhstspannungelektro- *

      надвисокої напруги                nenmikroskop

                                     en ultrahigh voltage electron

                                        microscope

                                     fr miсrоscoре  [e2]lectro-  *

                                        nique dеtr[e2]s haute   *

                                        tension

                                     ru электронный микроскоп

                                        сверхвысокого напряжения

      Пpocвiчувальний елек-             Просвечивающий электрон-

      тронний мікроскоп з               ный микроскоп с ускоряю-

      прискорювальною на-               щим напряжением свыше

      пругою понад 25 кВ                25 кВ

4.1.10 високотемпературний           de Hochtemperaturelectronen-

       електронний мікроскоп            mikroskop

                                     en high temperature eleсtrоn

                                        microscope

                                     fr microsсоре[e2]lectroni-  *

                                        que de haute temp[e2]ra-  *

                                        ture

                                     ru высокотемпературный

                                        электронный микроскоп

      Просвічувальний елек-             Просвечивающий электронный

      тронний мікроскоп з на-           микроскоп с нагреванием

      гріванням об'єкта понад           обьекта свыше 300 оС

      300 оС

4.1.11 растровий електронний         dе Rasterelektronenmikroskop

       мікроскоп                     en scanning electron micros-

                                        cope

                                     fr microscope [e2]lectro-    *

                                        nique    [а4]    trame    *

                                     ru растровый электронный

                                        микроскоп

      Електронний мікроскоп,            Электронный микроскоп,

      який формує зображен-             формирующий изображение

      ня о6'єкта при скануван-          объекта при сканировании

      нi його поверхнi eлек-            его поверхности электрон-

      тронним зондом                    ным зондом

4.2 Методи одержання зображенняв електронних мікроскопах

4.2.1 світлофонове зобра-            de Hellichtbild

      ження                          еn bright-tield image

                                     fr inage de camp claire

                                     ru светлопольное изображе-

                                        ние

      Зображення, сформова-             Изображение, сформиро-

      не у  просвiчувальному            ванное в просвечивающем

      мікроскопі електронни-            микроскопе электронными

      ми пучками, які містять           пучками, содержащими не-

      нepoзcіяні в об'єкті елек-        рассеянные в обЬекте элек-

      трони i електрони, роз-           троны и энектроны, рас-

      сіяні в межах апертурно-          сеянные в пределах апер-

      го кута об'єктивної               турного угла объективной

      лінзи                             линзы

4.2.2 темнофонове зобра-             de Dunkellichtbild

      ження                          en dark-field image

                                     fr image de champ sombre

                                     ru темнопольное изображе-

                                        ние

      Зображення, сформова-             Изображение, сформиро-

      не у  просвiчувальному            ванное в просвечивающем

      електронному мiкроско-            электронном микроскопе

      пі тільки розсіяними в            только рассеянными в обЬ-

      об'єкті електронними              екте электронными пучка-

      пучка                             ми

4.2.3 мiкродифракцiя                 de Mikrobeugung

                                     en microdefraction

                                     fr microdiffraction

                                     ru микродифракция

      Дифракційне зображен-             Дифракционноеизобра-

      ня малої ділянки об'є-            жение малого участка

      кта, сформоване у задній          обьекта, сформированное

      фокальній площині                 в задней фокальной плос-

      об'єктивної лінзи збіль-          кости обьективной линзы

      шене електронними лін-            и увеличенное электронными

      зами                              линзами

4.2.4 зображення у вторин-           de Sekund[a1]relelectronen-  *

      них електронах при                bild beim lonenbeschuss

      іонному бомбардуванні          en image in secondary elec-

                                        trons atan ion bombarde-

                                        ment

                                     fr image еn [e2]Iectrons     *

                                        secondaires au bombarde-

                                        ment ionique

                                     ru изображение во вторичных

                                        электронах при вторичной

                                        бомбардировке

      3ображення, сформова-             Изображение, сформиро-

      не в емісiйному елек-             ванное в эмиссионном элек-

      тричному мікроскопі               тронном микpоскопе вто-

      вторинними електрона-             ричными електронами, воз-

      ми, які виникають при             никающими при бомбарди-

      бомбардуванні об'єкта             ровке обЬекта ионами

      іонами

4.2.5 зображенняувторин-           de Secund[a1]relelectronen-  *

      них електронах при                bild beim Elektronenbes-

      електронномубомбар-              chuss

      дуванні                        en image in secondary elec-

                                        trons at an electron bom-

                                        bardement

                                     fr image en [e2]lectrons     *

                                        secondaires au bombardement

                                     ru изображение, во вторичных

                                        электронах при электронной

                                        бомбардировке

      Зображення, сформова-             Изображение, сформиро-

      не в емісійному елек-             ванное в эмиссионном элек-

      тронному мікроскопi               тронном микроскопе вто-

      вторинними електрона-             ричными электронами, воз-

      ми, які виникають при             никающими при бомбарди-

      бомбардуванні об'єкта             ровке обьекта электрона-

      електронами                       ми

4.2.6 зображення у термое-           de Gl[u1]helektronenbild    *

      лектронах                      en image in thermoelectrons

                                     fr image en thermo[e2]lect- *

                                        rons

                                     ru изображение в термоэлек-

                                        тронах

      Зображення, сформова-             Изображение, сформиро-

      не в емісiйному елек-             ванное в змиссионном элек-

      тронному мiкроскопі               тронном микроскопе тер-

      термоелектронами, що              моэлектронами, испускае-

      випромінюються об'єк-             мыми объектом при нагре-

      том при нагріванні                ве

4.2.7 зображення у фото-            de Fotoeleltronenbild

      електронах                    en photoimage

                                    fr image en photo-[e2]lectrons*

                                    ru изображение в фотоэлек-

                                       тронах

      Зображення, сформова-            Изображение, сформиро-

      не в емісійному елек-            ванное в эмиссионном элек-

      тронному мікроскопi              тронном микроскопе фото-

      фотоелектронами, що              электронами, испускаемы-

      випромінюються об'єк-            ми обьектом под действием

      том під дією оптичного           оптического излучения

      випромінювання

4.2.8 електронно-оптичнi            de Elektronenoptische Aberra-

      аберації                         tionen

                                    еn electron-optical abbera-

                                       tions

                                    fr ahbcrations [e2]lectrono-  *

                                       optiques

                                    ru электронно-оптические

                                       аберрации

      Викривлення електрон-            Искажения электронно-оп-

      но-оптичних зображень            тических изображений

4.3 Методи досліджень у просвічувальнійелектронній мікроскопії

4.3.1 метод електронної              de Elektronenmikroskoppiever

      мікроскопії                       fahren

                                     еn method оf еleсtron micros-

                                        copy

                                     fr m[e2]thode dеmicroscopie

                                        [e2]lectronique

                                     ru метод электронной мик-

                                        роскопии

      Метод досліджень мате-            Метод исследований мате-

      ріалів за допомогою елек-         риалов с помощью элек-

      тронних мiкроскопів               тронных микроскопов

4.3.2 прямі методи до-               de Direkte Forschungsme-

      сліжень                           thoden

                                     en direct methods оf ana-

                                        lysis

                                     fr m[e2]thodes d'[e2]tude    *

                                        directes

                                     ru прямые методы исследований

      Методи вивчення об'є-             Методы изучения обЬекта в

      кта у виглядi дрiбних час-        виде мелких частиц или уль-

      тинок або ультратонких            тратонких срезов

      зрізів

4.3.3 невпрямі методидо-            de Indirekte Forschungsme

      сліджень                          thoden

                                     en indirect niethods of analy-

                                        sis

                                     fr methodes d'[e2]tude indi- *

                                        rectes

                                     ru косвенные методы исследо-

                                        ваний

      Методи вивчення відбит-           Методы изучения отпечат-

      ків об'єкта у вигляді             ков обЬекта в виде реплик

      реплік

4.3.4 спеціальні методи              dn Sonderforschungsmethoden

      досліджень                     en special methods оf analy-

                                        sis

                                     fr m[e2]thodes d'[e2]tude    *

                                        sp[2]eciales              *

                                     ru специальные методы иссле-

                                        дований

      Методи вивчення об'єк-            Методы изучения обЬекта,

      та, що базуються на спе-          основанные на специальных

      цiaльних способах впли-           способах воздействия на

      ву на нього                       него

4.3.4 Прямі методи досліджень

4.3.4.1 свiтлофоновий метод          de Sonderforschungmethode

        досліджень                   cn bright-field analysis

                                        method

                                     fr m[e2]thode d'[e2]tude de

                                        champ,claire

                                     ru светлопольный метод ис-

                                        следований

      Метод вивчення об'єкта            Метод изучения обЬекта в

      у прохідному пучку елек-          проходящем пучке электро-

      тронів, визначення роз-           нов, определения размеров

      мірів і форми мікрочас-           и формы микрочастиц и суб-

      тинок і субмікрокрис-             микрокристаллов

      талів

4.3.4.2 метод Муара                 dу Moiremethode

                                    еn Moire's method

                                    fr m[e2]thode de Moire

                                    ru метод Муара

      Метод  визначення між-           Метод определения меж-

      площинних відстаней              поскостных  расстояний

      крисалічних граток і             кристаллических решеток и

      наявності в них дис-             наличия в них дислокаций.

      локацій. Для криста-             Для кристаллических реше-

      лічних граток з міжпло-          ток с межплоскостным рас-

      щинною вiдстанню, мен-           стоянием менее 0,2 нм

      шою від 0,2 нм

4.3.4.3 дислокації                  de Versetzung

                                    en dislocations

                                    fr dislocation

                                    ru дислокации

        Дефекти кристалічних           Дефекты кристаллической

        граток у вигляді ліній з       решетки, представляющие

        порушенням правильно-          собой линии с нарушением

        го чергування атомних          правильного чередования

        площин                         атомних плоскостей

4.3.4.4 темнофоновий метод          de Dunkellichtforschungsver-

        досліджень                     fahren

                                    en dark-field  analysis method

                                    fr m[e2]thode d'[e2]tude de   *

                                       champ sombre

                                    ru темнопольный метод исследо-

                                       ваний

        Метод підвищення кон-          Метод повышения контрас-

        трасту при одержанні           та изображения при получе-

        зображення розсіяним           нии его рассеянным пуч-

        пучком електронів              ком электронов

4.3.4.5 метод мікродифракції        de Вeugungsyerfahren

                                    en diffraction  method

                                    fгm[e2]thode de diffraction

                                    ru метод микродифракции

        Метод одержання диф-           Метод получения дифракци-

        ракційної картини діля-        онной картины участков

        нок об'єкта (діаметром         обЬекта (диаметром 1-2

        1-2 мкм) для ідентифі-         мкм) для идентификации

        кації кристалічних фаз,        кристаллических фаз,

       визначення їх тонких           определения их тонких

        структурних особливос-         структурных особенностей

        тей

4.3.4.6 метод ультратонких          dе D[u1]nnschnittverfahren    *

        зрізів                      еn method оf ultra fine cut-

                                       offa

                                    fr m[e2]thode dесouрes       *

                                       ultraminces

                                    ru метод ультратонких срезов

        Метод безпосередніх до-        Метод непосредственных                 СЛ

        сліджень ультратонких          исследований ультратонких

        зрізів зразка (не біль-        срезов оразца (не более

        ше 2000 нм  завтовшки),        2000 нм толщиной), получе-

        одержаних на ультра-           нных на ультрамикротоме

        мікротомі

4.3.4.7 ультрамікротом              dе Ultramikrotom

                                    еn ultramicrotome

                                    fr ultramicrotome

                                    ru ультрамикротом

         Прилад для одержання          Прибор для получения тон-

         тонких зрізів спеціа-         ких срезов специально под-

         льно підготовлених            готовленых обЬектов (тол-

         об'єктів (завтовшки до        щиной до 1000 нм) для эле-

         1000 нm) для електрон-        ктронной микроскпии

         ної мікроскопії

4.3.5 Непрямі методи дослiджень

4.3.5.1 репліка                     de Transmissionsgitter

                                    en replica

                                    fr r[e2]pligue                *

                                    ru реплика

        Копiя, злiпок з рельєфу        Копия, слепок с рельефа

        досліджуваного об'єкта         исследуемого обЬекта

4.3.5.2 метод реплік                de Transmissionsgitterver-

                                       fahren

                                    en method of replica

                                    fr m[e2]thode de r[e2]pligues *

                                    ru метод реплик

        Метод дослiдження              Метод исследования обЬекта

        об'єкта в електронному         в электронном микрос-

        мiкроскопі за допомогою        копе при помощи отпечат-

        відбитків, зліпків з його      ков, cлепков с его рельефа

        рельєфу

4.3.5.3 одноступінчаста реплі-      de Finstufentransmissionsgitter

        ка                          en one stage replica

                                    fr r[e2]plique mono[e2]ta-    *

                                       g[e2]e                     *

                                    ru одноступенчатая реплика

        Репліка, яка знята без-        Реплика снятая непосред-

        посередньо з поверхні          ственно с поверхности об-

        зразка і одержана окис-        разца и получаемая окисле-

        ленням поверхні, або           нием поверхности, или на-

        нанесенням шару пласти-        несением слоя пластика или

        ка чи напиленням мета-         напылением металла на эту

        лу на цю поверхню              поверхность

4.3.5.4 двоступінчата репліка       de Zweistufentransmissionsgi-

                                       tter

                                    en two-stage replica

                                    fr r[e2]plique [a4] deux      *

                                       [e2]tages                  *

                                    ru двухступенчатая реплика

        Pепліка, знята з контак-       Реплика, снятая с контакт-

        ного боку промiжного           ной стороны промежуточного

        вiдбитка                       отпечатка

4.3.5.5 репліка з екстракцією       de Extraktionstransmissiosgit-

                                       ter

                                    еn replica with ехtraction

                                    fr r[e2]plique avec extrac-   *

                                       tion

                                    ru реплика с экстракцией

        Репліка, яка містить у         Реплика, содержащая в себе

        coбi вкраплення дослід-        вкрапления исследуемого

        жуваного матеріалу             материала

4.3.5.6 псевдореплiка               dеPseudotransmissionsgitter

                                    en pseudoreplica

                                    fr pseudo-r[e2]plique         *

                                    ru псевдореплика

        Репліка, одержана відша-       Реплика, получаемая путем

        руванням тонкої плів-          отслаивания тонкой плен-

        ки досліджуваного мате-        ки исследуемого материала

        рiалу за допомогою на-         с помощью нанесения рас-

        несення розчину плас-          твора пластика или пленки

        тика або плівки металу         металла

4.3.5.6 псевдореплiка               dе Pseudotransmissionsgitter

                                    en pseudoreplica

                                    fr pseudo-r[e2]plique          *

                                    ru псевдореплика

        Репліка, одержана відша-       Реплика, получаемая путем

        руванням тонкої плів-          отслаивания тонкой плен-

        ки досліджуваного мате-        ки исследуемого материалла

        рiалу за допомогою на-         с помощью нанесения рас-

        несення розчину плас-          твора пластика или пленки

        тика або плівки металу         металла

4.3.5.7 метод збільшення            dе Kontrastanhebungsverfahren

        контрастностіоб'єкта       en method of object contrast

                                       range amplification

                                    fr m[e2]thode d'accentuation *

                                       des соntrastes d'un objet

                                    ru методусиленияконтрас-

                                       тности обЬекта

        Метод відтінення по-           Метод оттенения повер-

        верхні об'єкта шаром ме-       хности объекта слоем ме-

        талу, напиленням його у        талла, напылением его в

        вакуумі на досліджуваний       вакууме на поверхность обЬ-

        об'єкт або репліку під         екта или реплику под неко-

        деяким кутом до по-            рым углом к поверхности

        верхнi

4.3.5.8 розпилювальна вакуум-       de Vakuumbedampfungsanlage

        на установка                en vacuum spraying device

                                    fr dispositif de pulv[e2]ri-  *

                                       sation, [a4] vide          *

                                    ru распылительная вакуумная

                                       установка

        Спецiальна вакуумна ус-        Специальный вакуумный

        тановка для розпилюван-        прибор для распыления при

        ня при нагріванні у ва-        нагревании в вакууме угле-

        куумі вуглецю, кварцу,         рода, кварца, различных

        різних металів та інших        металлов и др. веществ

        речовин

4.3.6 Спеціальнi методи

      дослiджень

4.3.6.1 панорамне знімання          dе Рanoramaaufnahme

                                    en раnoramic survеу

                                    fr prise de vue panoramique

                                    ru панорамная съемка

        Метод виконання вели-          Метод выполнения большо-

        кої кількості знімків          го числа снимков различ-

        різних частин одного           ных участков одного обьек-

        об'єкта за постійних           та при постоянных усло-

        умов                           виях

4.3.6.2 стереомікроскопічний        de Stereomikroskopverfahren

        метод                       еn stereoscopie microscope

                                       method

                                    fr m[e2]thode st[e2]r[e2]o-   *

                                       microscopique

                                    ru стереомикроскопический

                                       метод

        Метод визначення струк-        Метод определения струк-

        тури поверхні об'єкта,         туры поверхности объекта,

        розмірів і орієнтації фаз,     размеров и ориентировки

        характеру розміщення           фаз, характера расположе-

        кристалів шляхом одер-         ния кристаллов путем полу-

        жання стереоскопічних          чения стереоскопических

        знімкiв                        снимков

4.3.6.3 метод фазовоконтраст-       de Phasenkontrastmikroskopi-

        ної мікроскопії                everfahren

                                    en phase-contrast microscopy

                                    fr m[e2]thode de microscopie  *

                                       dесоntraste dеphase

                                    ru методфазовоконтрастной

                                       микроскопии

        Метод підвищення конт-         Метод повышения контрас-

        расту окремих фаз об'є-        та отдельных фаз обЬекта

        кта шляхом напилення           путем напыления слоя ме-

        шару металу з великим          талла с большим атомным

        атомним номером або            номером или введения в

        введення в об'єкт ме-          объект металлов, дающих

        талів, які дають інше          иное рассеяние электронов,

        розсіювання електронів,        чем сама фаза

        ніж сама фаза

4.3.6.4 метод іонного тривлен-      dе Ionen[a1]tzungverfahren    *

        ня                          en ionic etching method

                                    fr m[e2]thode d'attaque       *

                                       ionique

                                    ru метод ионного травления

        Метод бомбардування у          Метод бомбардировки в ва-

        вакуумі полірованої по-        кууме полированной повер-

        верхні об'єкта позитив-        хности образца положитель-

        ними іонами                    ными ионами

4.3.6.5 метод декорування           de Objektdekorierungsverfahren

        об'єкта                     en ohject decorating method

                                    fr m[e2]thode de d[e2]cora-   *

                                       tion d'un objet

                                    ru метод декорирования объ-

                                       екта

        Метод дослідження              Метод исследования обьек-

        об'єкта шляхом напи-           та путем напыления на его

        лення на його поверхню         поверхность вещества, об-

        речовини, яка утворює          разующего на активных

        на активних делянках           участках поверхности заро-

        поверхні зародки крис-         дыши кристаллов, что дела-

        талів і робить ці діля-        ет эти участки видимыми

        нки видимими

4.3.6.6 метод охолодження           de Objektk[u1]hlungsverfahren *

        об'єкта                     еn object cooling methode

                                    fr mithode dеrefroidissement

                                       d'un objet

                                    ru метод охлаждения объекта

        Метод дослідження охо-         Метод исследования охлаж-

        лоджених у камері об'єк-       денных в камере обЬектов

        тів препаратів, які руй-       препаратов, разрушающих-

        нуютъся під дією елек-         ся под действием электрон-

        тронного опромінення           ного облучения (биологи-

        (бiологічні, органічні)        ческие, органические)

4.3.6.7 метод нагрiвання            de Objektw[a1]rnungsverfahren *

        об'єкта                     en object heating method

                                    fr m[e2]thode de chauffement

                                       d'un objet

                                    ru метод нагревания обьекта

        Метод дослідження пе-          Метод исследования превра-

        ретворень об'єкта при          щений в обЬекте при его

        його нагріванні до зада-       нагревании до заданной тем-

        ної температури в камері       пературы в камере обьектов

        об'єктів електронного          электронного микроскопа

        мікроскопа

4.3.6.8 метод газової камери        de Gaskammerverfahren

                                    en method of gaz chamber

                                    fr m[e2]thode de chambre [а1] *

                                       gaz

                                    ru метод газовой камеры

        Метод дослідження пе-          Метод исследования превра-

        ретворень в об'єкті в ат-      щений в обьекте в атмосфе-

        мосфері газу, введеного в      ре газа, введенного в камеру

        камеру об'єктів елек-          объектов электронного мик-

        тронного мікроскопа            роскопа

4.3.7 Методи растрової

      електронної мiкро-

      скопії

4.3.7.1 методвторинних             de Sekund[a1]relektronver-    *

        електронів                     fahren

                                    en method оf  secondary

                                      electrons

                                    fr m[e2]thode des [e2]lect-   *

                                       rons secondaires

                                    ru метод вторичных электро-

                                       нов

        Метод дослідження              Метод исследования обьек-

        об'єкта у вторинних            та во вторичных электронах

        електронах

4.3.7.2 метод відбитих елек-        de Refrexionselektronverfahren

        тронів                      en method оf reflected

                                       elecirons

                                    fr m[e2]thode des [e2]lec-    *

                                       trons r[e2]fl[e2]chis      *

                                    ru метод отраженных элек-

                                       тронов

        Метод дослідження              Метод исследования обьєк-

        об'єкта у відбитих             та в отраженных от него

        від нього електронів           электронах

4.3.7.3 метод yвiбpaниx елек-       de Absorbierelektronverfahren

        тронів                      еn method ot absorbed

                                       electrons

                                    fr m[e2]thode des [e2]lec-    *

                                       trons absorb[e2]s          *

                                    ru методпоглощенныхэлек-

                                       тронов

        Метод дослiдження              Метод исследования обьек-

        обЬекта за допомогою           та при помощи электронов,

        електронів, увібраних          поглощенных при сканиро-

        при проходженні елек-          вании электронного зонда

        тронного зонда по по-          по поверхности объекта

        верхні об'єкта

4.3.7.4 метод катодолюмі-           de Katodenlumineszenz

        несценції                   en method of cathod luminis-

                                       cence

                                    fr m[e2]thode dеluminiscence

                                       cathodique

                                    ru метод катодолюминесцен-

                                       ции

        Метод дослiдження              Метод исследования обьек-

        об'єкта з використанням        та с использованием опти-

        оптичного випроміню-           ческого излучения, возбуж-

        вання, яке збуджується         вдаемого в обьекте электрон-

        в об'єкті електронним          ным зондом

        зондом

4.3.7.5 методканалювання           de Elektronenkanalverfahren

        електpoнів                  еn method of electron chan-

                                       neling

                                    fr methode de canalisation

                                       des electrone

                                    ru метод каналирования элек-

                                       тронов

        Метод дослідження об'є-        Метод исследования обьек-

        кта за допомогою ефекту        та при помощи эффекта ка-

        каналювання електрон-          налирования электронных

        них пучків в об'єкті           пучков в объекте

4.3.7.6 методнаведеного            de Influensttromverfahren

        струму                      еn method оf induced current

                                    fr methode de courant induit

                                    ru методнаведенноготока

        Метод дослiдження              Метод исследования обьек-

        об'єкта з використанням        та с использованием тока,

        струму, який виникає в         возникающего в цепи с по-

        колі з напiвпровiднико-        лупроводниковым объектом

        вим об'єктом під впли-         при воздействии нижнего

        вом електронного зонда         электронного зонда

4.3.7.7 метод прохідних             de Durchgangselektronverfahren

        електронів                  еn method of passed electrons

                                    fr m[e2]thode des electrons   *

                                       pass[e2]s                  *

                                    ru метод прошедших электро-

                                       нов

        Метод дослідження              Метод исследования обЬек-

        об'єкта електронами, які       та электронами, прошедшими

        пройшли через нього            через него

4.3.7.8 метод рентгенівського       dе R[o1]ntgenstrahlmethode    *

        випромінювання              еn Х-rауradiation method

                                    fr m[e2]thode de radiation Х

                                    ru метод рентгеновского из-

                                       лучения

        Метод дослiдження об'є-        Метод исследования обьек-

        кта за допомогою харак-        та при помощи характерис-

        теристичного рентге-           тического рентгеновского

        нівського випроміню-           излучения, возбуждаемого в

        вання, яке збуджується в       объекте электронным зон-

        об'єктi електронним            дом

        зондом

4.3.7.9 метод  модуляції         de -Modulationsverfahren

                                    еn -modulation method

                                    fr m[e2]thode de modulation 

                                    ru метод  модуляции

        Метод дослідження об'є-        Метод исследования обьек-

        кта при складанні відео-       та при сложении видеосиг-

        сигналу iз струмом (на-        нала с током (напряжени-

        пругою) кадрової розгор-       ем) кадровой развертки

        тки

Абетковий покажчик українських термінів

аберації електронно-оптичні ............................ 4.2.8

дислокації ............................................. 4.3.4.3

електронограф .......................................... 4.1.7

знімання панорамне ..................................... 4.3.6.1

зображення у вторинних електронах

при електронному бомбардуванні ......................... 4.2.5

зображення у вторинних електронах

при іонному бомбардуванні .............................. 4.2.4

зображення світлофонове ................................ 4.2.1

зображення темнофонове ................................. 4.2.2

зображення у термоелектронах ........................... 4.2.6

зображення у фотоелектронах ............................ 4.2.7

метод відбитих електронів .............................. 4.3.7.2

метод вторинних електронів ............................. 4.3.7.1

метод газової камери ................................... 4.3.6.8

метод декорування об'єкта .............................. 4.3.6.5

метод досліджень світлофоновий ......................... 4.3.4.1

метод досліджень темнофоновий .......................... 4.3.4.4

метод електронної мікроскопії .......................... 4.3.1

метод збільшення контрастності об'єкта ................. 4.3.5.7

метод іонного травлення ................................ 4.3.6.4

метод каналювання електронів ........................... 4.3.7.5

метод катодолюмінесценції .............................. 4.3.7.4

метод мікродифракції ................................... 4.3.4.5

метод Муара ............................................ 4.3.4.2

метод наведеного струму................................. 4.3.7.6

метод нагрівання об'єкта ............................... 4.3.6.7

метод охолодження об'єкта .............................. 4.3.6.6

метод увібраних електронів ............................. 4.3.7.3

метод прохідних енектронів ............................. 4.3.7.7

метод рентгенівського випромінювання ................... 4.3.7.8

метод реплік............................................ 4.3.5.2

метод стереомікроскопічний ............................. 4.3.6.2

метод ультратонких зрізів .............................. 4.3.4.6

метод  модуляції .................................... 4.3.7.9

метод фазовоконтрастної мікроскопії..................... 4.3.6.3

методи досліджень непрямі .............................. 4.3.3

методи досліджень прямі ................................ 4.3.2

методи досліджень спеціальні ........................... 4.3.4

мікродифракція ......................................... 4.2.3

мікроскоп автоелектронний .............................. 4.1.6

мікроскоп електронний .................................. 4.1.1

мікроскоп електронний високотемпературний .............. 4.1.10

мікроскоп електронний відбивний ........................ 4.1.3

мікроскоп електронний дзеркальний ...................... 4.1.5

мікроскоп електронний емісійний ........................ 4.1.4

мікроскоп електронний невисокої напруги................. 4.1.9

мікроскоп електронний просвічувальний .................. 4.1.2

мікроскоп електронний растровий ........................ 4.1.11

мікроскоп електронний тіньовий ......................... 4.1.8

псевдорепліка .......................................... 4.3.5.6

репліка ................................................ 4.3.5.1

репліка двоступінчаста ................................. 4.3.5.4

репліка з екстракцією .................................. 4.3.5.5

репліка одноступінчаста ................................ 4.3.5.3

ультрамікротом ......................................... 4.3.4.7

установка вакуумна розпилювальна ....................... 4.3.5.8

Абетковий покажчик німецьких термінів

Absorbierelektronverfahren ............................. 4.3.7.3

Beugungsverfahren ...................................... 4.3.4.5

Durchgangselektronverfahren ............................ 4.3.7.7

Durchtrahlungselektronenmikroskop ...................... 4.1.2

Dunkellichtbild......................................... 4.2.2

Dunkellichtforschungsverfahren ......................... 4.3.4.4

D[u1]nnschnichttverfahren .............................. 4.3.4.6  *

Direkte Forschungsmethoden ............................. 4.3.2

Einstufentransmissionsgitter ........................... 4.3.5.3

Elektronenbeugundsapparat .............................. 4.1.7

Elektronenkanalverfahren ............................... 4.3.7.5

Flektronenmikroskop .................................... 4.1.1

Elektronenmikroskoppieverfahren ........................ 4.3.1

Fleklronenoptische Aberrationen......................... 4.2.8

Elektronenspiegelmikroskop ............................. 4.1.5

Emissionselektronenmikroskop,........................... 4.1.4

Extraktionstransmissionsgitter ......................... 4.3.5.5

Feldelektronenmikroskop ................................ 4.1.6

Fotoelektronenbild ..................................... 4.2.7

Gaskammerverfahren...................................... 4.3.6.8

Gl[u1]helektronenbild .................................. 4.2.6    *

Helllichtbild .......................................... 4.2.1

Helllichtforschungsmethode ............................. 4.3.4.1

H[o1]chstspannungelektronenmikroskop ................... 4.1.9    *

Hochtemsperaturelektronenmikroskop ..................... 4.1.10

Indirekte Forschungsmethoden ........................... 4.3.3

Influenstromverfahren .................................. 4.3.7.6

Ionen[a1]tzungverfahren ................................ 4.3.6.4  *

Katodenlumineszenz ..................................... 4.3.7.4

Kontrastanhebungsverfahren ............................. 4.3.5.7

Mihrobeugung ........................................... 4.2.3

Moiremethode ........................................... 4.3.4.2

Objektdekorierungsverfahren ............................ 4.3.6.5

Objektw[a1]rmungsverfahren ............................. 4.3.6.7  *

Objektk[u1]hlungsverfahren ............................. 4.3.6.6  *

Panoramaaufnahme ....................................... 4.3.6.1

Phasenkontrastmikroskopieverfahren ..................... 4.3.6.3

Pseudotransmissionsgitter .............................. 4.3.5.6

Rasterelektronenmikroskop .............................. 4.1.11

Reflexionselektronenmikroskop .......................... 4.1.3

Reflexionselektronverfahren ............................ 4.3.7.2

R[o1]ntgenstrahlmethode ................................ 4.3.7.8  *

Schattenmikroskop ...................................... 4.1.8

Sekund[a1]relektronenbild beim Elektronenbeschuss....... 4.2.5    *

Sekund[a1]relektronenbild beim Lonenbeschuss ........... 4.2.4    *

Sekund[a1]relektronverfahren ........................... 4.3.7.1

Sonderforschungsmethoden ............................... 4.3.4

Stereomikroskopverfahren ............................... 4.3.6 2

Transmissionsgitter .................................... 4.3.5.1

Transmissionsgitterverfahren ........................... 4.3.5.2

Ultramikrotom .......................................... 4.3.4.7

Vakuumbedampfungsanlage ................................ 4.3.5.8

Versetzung ............................................. 4.3.4.3

Zweistufentransmissionsgitter .......................... 4.3 5 4

(Y)-Modulationsverfahren ............................... 4.3.7.9

Абетковий покажчик англійських термінів

bright-field analysis method ........................... 4.3.4.1

hright-field image ..................................... 4.2.1

dark-field analysis method ............................. 4.3.4.4

dark-field image ....................................... 4.2.2

diffraction method ..................................... 4.3.4.5

direct methods of analysis ............................. 4.3.2

dislocations ........................................... 4.3.4.3

electron diffractometer ................................ 4.1.7

electron microscope .................................... 4.1.1

electron-optical abberations ........................... 4.2.8

emission microscope .................................... 4.1.4

field-emission microscope .............................. 4.1.6

hight temperasture electron microscope ................. 4.1.10

mage in secondary at an eletro bombardement ............ 4.2.5

image in secondary electrons at an ion bombardement..... 4.2.4

image in thermoelectrons................................ 4.2.6

indirect methods of analysis ........................... 4.3.3

ionic etching method ................................... 4.3.6.4

method of absorbed electrons ........................... 4.3.7.3

method of cathod luminiscence .......................... 4.3.7.4

method of gaz chamber................................... 4.3.6.8

method of electron channeling .......................... 4.3.7.5

method of electron microscopy........................... 4.3.1

method of imduced current .............................. 4.3.7.6

method of object contrast range amplifcation ........... 4.3.5.7

method of passed electrons.............................. 4.3.7.7

method of reflected electrons........................... 4.3.7.2

method of replica ...................................... 4.3.5.2

method of secondary electrons .......................... 4.3.7.1

method of ultra fine cut-offs .......................... 4.3.4.6

microdefraction ........................................ 4.2.3

mirror electron microscope ............................. 4.1.5

Moire's methods ........................................ 4.3.4.2

object cooling method .................................. 4.3.6.6

object decorating method ............................... 4.3.6.5

object heating method .................................. 4.3.6.7

one stage replica ...................................... 4.3.5.3

panoramic survey........................................ 4.3.6.1

phase-contrast microscopy .............................. 4.3.6.3

photoimage.............................................. 4.2.7

pseudoreplica .......................................... 4.3.5.6

reflection electron microscope ......................... 4.1.3

replica ................................................ 4.3.5.1

replica with extraction ................................ 4.3.5.5

scanning electron microscope ........................... 4.1.11

shadow electron microscope.............................. 4.1.8

special methods of analysis ............................ 4.3.4

stereoscopie microscope method ......................... 4.3.6.2

transmission electron microscope........................ 4.1.2

two-stage replica ...................................... 4.3.5.4

ultrahigh voltage electron microscope .................. 4.1.9

ultramicrotome ......................................... 4.3.4.7

vacuum spraying ........................................ 4.3.5.8

X-ray radiation method.................................. 4.3.7.8

Y-modulation method .................................... 4.3.7.9

Абетковий покажчик французьких термінів

abberations [e2]lectrono-optiques ...................... 4.2.8    *

auto-[e2]lectron projecteur............................. 4.1.5    *

diffractom[e2]tre [e2]lectronique ...................... 4.1.7    *

dislocations ........................................... 4.3.4.3

dispositif de pulv[e2]rization [a4] vide ............... 4.3.5.8  *

image de champ claire .................................. 4.2.1

image de champ sombre .................................. 4.2.2

image en [e2]lectrons secondaires au bomhardement ...... 4.2.5    *

image en [e2]lectrons secondaires au bombardement                 *

ionique ................................................ 4.2.4

image en photo-[e2]lectrons ............................ 4.2.7    *

image en thermo-[e2]lectrons ........................... 4.2.6    *

m[e2]thode d'accentuation des contrastes d'un objet..... 4.3.5.7  *

m[e2]thode d'attaque ionique............................ 4.3.6.4  *

m[e2]thode de canalisation des [e2]lectrons ............ 4.3.7.5  *

m[e2]thode de chambre [a4] gas ......................... 4.3.6.8  *

m[e2]thode de chauffement d'un objet ................... 4.3.6.7  *

m[e2]thode de coupes ultraminces........................ 4.3.4.6  *

m[e2]thode de courant induit............................ 4.3.7.6  *

m[e2]thode de d[e2]coration d'un objet ................. 4.3.6.5  *

m[e2]thode de diffraction .............................. 4.3.4.5  *

m[e2]thode de luminiscence cathodique .................. 4.3.7.4  *

m[e2]thode de microscopie de contraste de phase ........ 4.3.6.3  *

m[e2]thode de microscopie [e2]lectronique .............. 4.3.1    *

m[e2]thode de modulation ............................ 4.3.7.9  *

m[e2]thode de Moire .................................... 4.3.4.2  *

m[e2]thode de radiation X............................... 4.3.7.8  *

m[e2]thode de retroidissement d'un objet ............... 4.3.6.6  *

m[e2]thode de repliques ................................ 4.3.5.2  *

m[e2]thode des [e2]lectrons absorb[e2]s ................ 4.3.7.3  *

m[e2]thode des [e2]lectrons pass[e2]s .................. 4.3.7.7  *

m[e2]thode des [e2]lectrons r[e2]flechis ............... 4.3.7.2  *

m[e2]thode des [e2]lectrons secondaires ................ 4.3.7.1  *

m[e2]thode d'[e2]tude de champ claire .................. 4.3.4.1  *

m[e2]thode d'[e2]tude de champ sombre................... 4.3.4.4  *

m[e2]thodes d'[e2]tude directes ........................ 4.3.2    *

m[e2]thodes d'[e2]tude indirectes ...................... 4.3.3    *

m[e2]thodes d'[e2]tude speciales ....................... 4.3.4    *

m[e2]thode stereomicroscopique ......................... 4.3.6.2  *

microdiffraction ....................................... 4.2.3

microscope [a4] [e2]mission ............................ 4.1.4    *

microscope [e2]lectronique.............................. 4.1.1    *

microscope [e2]lectronique [a4] mirroir................. 4.1.5    *

microscope [e2]lectronique [a4] trame .................. 4.1.11   *

microscope [e2]lectronique de haute temp[e2]rature ..... 4.1.1    *

microscope [e2]lectronique de tres haute tension ....... 4.1.9    *

microscope [e2]lectronique d'ombre ..................... 4.1.8    *

microscope [e2]lectronique par reflexion................ 4.1.3    *

microscope [e2]lectronique par transmission ............ 4.1.2    *

prise de vue panoramique ............................... 4.3.6.1

pseudo-r[e2]plique ..................................... 4.3.5.6  *

r[e2]plique ............................................ 4.3.5.1  *

r[e2]plique [a4] deux [e2]tages ........................ 4.3.5.4  *

r[e2]plique avec extraction ............................ 4.3.5.5  *

r[e2]plique mono[e2]tage[e2] ........................... 4.3.5.3  *

ultramicrotome ......................................... 4.3.4.7

Абетковий покажчик російських термінів

аберрации электронно-оптические ....................... 4.2.8

дислокации............................................. 4.3.4.3

изображение во вторичных электронах

при ионной бомбардировке .............................. 4.2.4

изображение во вторичных электронах

при электронной бомбардировке ......................... 4.2.5

изображение в термоэлектронах ......................... 4.2.6

изображение в фотоэлектронах .......................... 4.2.7

изображение светлопольное ............................. 4.2.1

изобрражение темнопольное ............................. 4.2.2

метод вторичных электронов............................. 4.3.7.1

метод газовой камеры................................... 4.3.6.8

метод декорирования обЬекта ........................... 4.3.6.5

метод ионного травления................................ 4.3.6.4

метод исследования светлопольный ...................... 4.3.4.1

метод исследования темнопольный ....................... 4.3.4.4

метод каналирования электронов ........................ 4.3.7.5

метод катодолюминесценции ............................. 4.3.7.4

метод микродифракции .................................. 4.3.4.5

метод Муара ........................................... 4.3.4.2

метод наведенного тока ................................ 4.3.7.6

метод нагревания обЬекта .............................. 4.3.6.7

метод отраженных электронов ........................... 4.3.7.2

метод охлаждения обЬекта .............................. 4.3.6.6

метод поглощенных электронов .......................... 4.3.7.3

метод прошедших электронов ............................ 4.3.7.7

метод рентгеновского излучения ........................ 4.3.7.8

метод реплик .......................................... 4.3.5.2

метод стереомикроскопический .......................... 4.3.6.2

метод ультратонких срезов ............................. 4.3.4.6

метод модуляции .................................... 4.3.7.9

метод усиления контрастности объекта .................. 4.3.5.7

метод фазовоконтрастной микроскопии ................... 4.3.6.3

метод электронной микроскопии ......................... 4.3.1

методы исследований косвенные ......................... 4.3.3

методы исследований прямые ............................ 4.3.2

методы исследований специальные ....................... 4.3.4

микродифракция ........................................ 4.2.3

микроскоп автоэлектронный ............................. 4.1.6

микроскоп электронный ................................. 4.1.1

микроскоп электронный высокотемпературный ............. 4.1.10

микроскоп электронный зеркальный ...................... 4.1.5

микроскоп электронный отражательный ................... 4.1.3

микроскоп электронный просвечивающий .................. 4.1.2

микроскоп электронный растровый ....................... 4.1.11

микроскоп электронный сверхвысокого напряжения ........ 4.1.9

микроскоп электронный теневой ......................... 4.1.8

микроскоп электронный эмиссионный...................... 4.1.4

псевдореплика ......................................... 4.3.5.6

реплика ............................................... 4.3.5.1

реплика двухступенчатая................................ 4.3.5.4

реплика одноступенчатая ............................... 4.3.5.3

реплика с экстракцией.................................. 4.3.5.5

съемка панорамная ..................................... 4.3.6.1

ультрамикротом ........................................ 4.3.4.7

установка вакуумная распылительная .................... 4.3.5.8

электронограф ......................................... 4.1.7

УДК 006.354:543.423                ТОО

Ключові слова:

             абетковий покажчик, визначення, електронограф,

             збільшення, зображення, камера, об'єктив, метод

             дослідження, метод мікроскопії, установка,

             репліка, система, ультрамікротом.

Примітка.

*/ цифри за літерами в квадратних дужках

відповідають значенням в таблиці

відповідності символів